半導体装置部品の無害化処理

半導体・電子装置部品の精密洗浄

イオン注入装置・スッパター装置・エッチング装置・CVD装置・液晶関連装置などの部品の無害化処理を致します。

定期的に無害化処理・精密洗浄を行うことにより、製品の品質/歩留まり向上・装置のコンディション維持・除害装置等設備の維持費低減に貢献します。
写真のイオンソース・電極・ブッシングの他に各種装置の治具・部品・配管・防着板などの無害化が可能です。

従来、廃棄していた部品も洗浄・無害化で再使用可能なものもあります。
廃棄部品の無害化も承ります。