対応可能(実績)型式一覧
| 項目 | メーカー | 型式 |
|---|---|---|
| イオン注入装置部品 無害化処理 ソースヘッド エレクトロード 分析管 ライナー フランジ ブッシング |
NISSIN | 80XP 120XP NH-20 |
| VARIAN | 350D 80-10 80-XP 120-XP 160-XP E-200 E-500 E-1000 E-2000 200U バーナスソース | |
| NOVA | NV-10 GSD-HE GSD-LE GSD-A | |
| AMJ | PI-9500 XR-80 | |
| 三井造船 | MDI-100 | |
| 日立 | マイクロ波イオン源 IP-825 | |
| ULVAC | IMX-3500 IM-2000 IM-3500 UFL EFL | |
| スパッター装置部品 および 蒸着装置部品の 無害化処理 |
VARIAN | 3180 3280 3290 XM-8 M-200 |
| ANELVA | ILC-1012，1013，1015，1051，1060，3936 | |
| MRC | 603 942 ECLIPS | |
| ULVAC | MCH-4500 MCH-9000 CERAUS EBX-2000 | |
| AMJ | ENDURA-5500 CENTURA | |
| 他 | SIV-3545 CCS-1600 | |
| エッチング装置部品 無害化処理 |
AMJ | PE-8310 PE-8111 CENTURA DPS |
| ANELVA | ILD-4012～4015 ILD-4033，4100，4500 | |
| TEL | TE-5000 TE-8500 ユニティDRM | |
| 住金 | R-4400，4420，4500 OZ-4000 | |
| 日立 | M-208 M-308 M-501，511，531 | |
| CVD装置部品 無害化処理 |
ANELVA | ILC-9300 |
| AMJ | ENDURA-5500 CENTURA P-5000 | |
| 他 | NES-7000 | |
| 液晶装置部品 無害化処理 |
ANELVA | ILV-9300，9500 ILC-3500，3940，3948，705 |
| ULVAC | SDP-570 |
