真空ポンプ標準修理対応機種一覧①

真空ポンプ標準修理対応機種一覧①

アディクセン・ジャパン(旧アルカテル)

機種 備考
2004A/2008A/2012A/2020A 標準型
2008AC/2012AC/2020AC ケミカル型
2008AC/2012AC/2020AC フッ素型
2033A/2033SD 標準型
2033AC/2033C1 ケミカル型
2033ACP/2033CP/2033C1 ケミカル型 フッ素油
2063A/2063SD 標準型
2063AC/2063C1 ケミカル型
2063ACP/2063CP/2063C2 ケミカル型 フッ素油
2005/2010/2015/2021 日立製モーター 標準型 (パスカルシリーズはお問い合わせください)
2005C/2010C/2015C/2021C 日立製モーター ケミカル型 (パスカルシリーズはお問い合わせください)
2005CP/2010CP/2015CP/2021CP 日立製モーター ケミカル型 フッ素油 (パスカルシリーズはお問い合わせください)
2005SD/2010SD/2015SD/2021SD ニューパスカルシリーズ ユニバーサルモーター 標準型
2005I/2010I/2015I/2021I ニューパスカルシリーズ ユニバーサルモーター 分析機器向け
2005C1/2010C1/2015C1/2021C1 ニューパスカルシリーズ ユニバーサルモーター ケミカル型
2010C2/2015C2/2021C2 ニューパスカルシリーズ ユニバーサルモーター ケミカル型 フッ素油

アルバック

機種 備考
D330/D330D 標準型 本体青塗装
D650/D650D 標準型 本体青塗装
D950/D950D 標準型 本体青塗装
D330K/D330DK 標準型 本体黄塗装 末尾KはVベルト駆動型 DKは直結型
D650K/D650DK 標準型 本体黄塗装 末尾KはVベルト駆動型 DKは直結型
D950K/D950DK 標準型 本体黄塗装 末尾KはVベルト駆動型 DKは直結型
EC403 ケミカル型 半導体製造装置向け EC402の後継機
PMB001C/PMB001CM 末尾Mは大気圧駆動型
PMB003C/PMB003CM 末尾Mは大気圧駆動型
PMB006C/PMB006CM 末尾Mは大気圧駆動型

BOCエドワーズ

機種 備考
E2M2/E2M5/E2M8  
E2M12  
E2M18  
E2M28  
E2M40  
E2M80  
E2M175  
E2M275  
RV3/RV5/RV8/RV12 E2M2/E2M5/E2M8/E2M12の後継機
E2M40 フッ素油
E2M80 フッ素油
EH250 鉱物油
EH500 鉱物油
EH1200 鉱物油
EH2600 鉱物油
EH250FF/QMB250 フッ素油 QMBは水冷モーター
EH500FF/QMB500 フッ素油 QMBは水冷モーター
EH1200FF/QMB1200 フッ素油 QMBは水冷モーター
EH2600FF フッ素油