真空ポンプ標準修理対応機種一覧①
アディクセン・ジャパン(旧アルカテル)
機種 | 備考 |
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2004A/2008A/2012A/2020A | 標準型 |
2008AC/2012AC/2020AC | ケミカル型 |
2008AC/2012AC/2020AC | フッ素型 |
2033A/2033SD | 標準型 |
2033AC/2033C1 | ケミカル型 |
2033ACP/2033CP/2033C1 | ケミカル型 フッ素油 |
2063A/2063SD | 標準型 |
2063AC/2063C1 | ケミカル型 |
2063ACP/2063CP/2063C2 | ケミカル型 フッ素油 |
2005/2010/2015/2021 | 日立製モーター 標準型 (パスカルシリーズはお問い合わせください) |
2005C/2010C/2015C/2021C | 日立製モーター ケミカル型 (パスカルシリーズはお問い合わせください) |
2005CP/2010CP/2015CP/2021CP | 日立製モーター ケミカル型 フッ素油 (パスカルシリーズはお問い合わせください) |
2005SD/2010SD/2015SD/2021SD | ニューパスカルシリーズ ユニバーサルモーター 標準型 |
2005I/2010I/2015I/2021I | ニューパスカルシリーズ ユニバーサルモーター 分析機器向け |
2005C1/2010C1/2015C1/2021C1 | ニューパスカルシリーズ ユニバーサルモーター ケミカル型 |
2010C2/2015C2/2021C2 | ニューパスカルシリーズ ユニバーサルモーター ケミカル型 フッ素油 |
アルバック
機種 | 備考 |
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D330/D330D | 標準型 本体青塗装 |
D650/D650D | 標準型 本体青塗装 |
D950/D950D | 標準型 本体青塗装 |
D330K/D330DK | 標準型 本体黄塗装 末尾KはVベルト駆動型 DKは直結型 |
D650K/D650DK | 標準型 本体黄塗装 末尾KはVベルト駆動型 DKは直結型 |
D950K/D950DK | 標準型 本体黄塗装 末尾KはVベルト駆動型 DKは直結型 |
EC403 | ケミカル型 半導体製造装置向け EC402の後継機 |
PMB001C/PMB001CM | 末尾Mは大気圧駆動型 |
PMB003C/PMB003CM | 末尾Mは大気圧駆動型 |
PMB006C/PMB006CM | 末尾Mは大気圧駆動型 |
BOCエドワーズ
機種 | 備考 |
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E2M2/E2M5/E2M8 | |
E2M12 | |
E2M18 | |
E2M28 | |
E2M40 | |
E2M80 | |
E2M175 | |
E2M275 | |
RV3/RV5/RV8/RV12 | E2M2/E2M5/E2M8/E2M12の後継機 |
E2M40 | フッ素油 |
E2M80 | フッ素油 |
EH250 | 鉱物油 |
EH500 | 鉱物油 |
EH1200 | 鉱物油 |
EH2600 | 鉱物油 |
EH250FF/QMB250 | フッ素油 QMBは水冷モーター |
EH500FF/QMB500 | フッ素油 QMBは水冷モーター |
EH1200FF/QMB1200 | フッ素油 QMBは水冷モーター |
EH2600FF | フッ素油 |